Verfahren und Vorrichtung zur Zerkleinerung von stabförmigen Halbleitermaterial (Process and Equipment for Comminution of Semiconductor Ingots)
by Dirk, Flottmann
Frauenknecht, D. Flottmann, W. Waldinger, F. Steudten, DE 19849939, 1998
by Dirk, Flottmann
Frauenknecht, D. Flottmann, W. Waldinger, F. Steudten, DE 19849939, 1998