Verfahren und Vorrichtung zur Zerkleinerung von stabförmigen Halbleitermaterial (Process and Equipment for Comminution of Semiconductor Ingots)
von Dirk, Flottmann
Frauenknecht, D. Flottmann, W. Waldinger, F. Steudten, DE 19849939, 1998
von Dirk, Flottmann
Frauenknecht, D. Flottmann, W. Waldinger, F. Steudten, DE 19849939, 1998