Mikrochips werden nicht nur in Smartphones in großen Stückzahlen benötigt, sondern auch für Sprachassistenten oder autonom fahrende Autos. Entscheidend für die Leistungsfähigkeit ist insbesondere die Qualität der Oberflächen in den Lithografiesystemen, mit denen sie hergestellt werden. Roboterbasierte Politur spielt dabei eine zentrale Rolle. Eine KI-Lösung, die Vorhersagen zum erfolgenden Materialabtrag mit einer Genauigkeit von über 99 Prozent treffen kann – das ist keine Zukunftsvision. Die Methode wurde im Zentrum für Optische Technologien realisiert. Wie genau erläutert dieser Beitrag zum heutigen „Welttag der Kreativität und Innovation“.
