Herstellung von sub-µm Si/SiGe Heterostruktur-Feldeffekttransistoren (HFETs) und ersten Testschaltungen für Hochfrequenzanwendungen
von Markus, Glück
Dissertation an der Fakultät für Ingenieurwissenschaften an der Universität Ulm, veröffentlicht im DDD Verlag, Darmstadt, ISBN 3-931713-57-1 (1999)