MEMS in der Mikrosystemtechnik – Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
von Markus, Glück
ISBN 3-519-00520-4, Teubner Verlag (1. Aufl., 2005)
von Markus, Glück
ISBN 3-519-00520-4, Teubner Verlag (1. Aufl., 2005)