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1038 publications found

2020

Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektions­belichtungsanlage

Arif Kazi, B. Bittner

2020

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von optischen Über­deckungen mit AR-Objekten

Arif Kazi, R. Bischoff, A. Kazi

2020

Projection Objective of a Microlithographic Projection Exposure Apparatus

Arif Kazi, O. Conradi

2020

Microlithographic projection exposure apparatus

Arif Kazi, A. Dodoc, S. Bleidistel, O. Conradi

2020

Verfahren und Vorrichtung zum Steuern einer Mehrzahl von Handhabungsgeräten

Arif Kazi, J. Bunsendal, G. Hietmann, C. Spieß

2020

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Position und Orientierung einer Bildempfangseinrichtung

Arif Kazi, R. Bischoff

2020

Total Internal Reflection Fluorescence Microscopy (TIRFM) – novel techniques and applications“, Medical Research Archives 8(11), 11 pages (2020), https://doi.org/10.18103/mra.v8i11.2287.

Herbert Schneckenburger, M. Richter, H. Wagner ISSN: 2375-1924,

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2020

Optisches Element und Verfahren

Arif Kazi, E. Eva

2020

Verfahren zum Betrieb eines optischen Elements mit thermischen Aktuatoren, optisches Element und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiter­lithographie

Arif Kazi, M. Hauf.

2020

Lens Heating-Manipulator mit lokaler Heizung des optischen Elements

Arif Kazi, O. Conradi, S. Bleidistel

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